磁控溅射仪技术参数:
1、电源电压:220v 50Hz
2、功率:900W
3、腔体内径:φ164mm
4、极限真空度:9.0×10-4Pa
5、样品台加热温度:RT-500℃,精度±1℃(根据实际需要提升温度)
6、靶枪数量:1个(在真空室下方)
7、靶枪冷却方式:水冷
8、靶材尺寸:φ2〞,厚度0.1-5mm(因靶材材质不同厚度有所不同)
9、样品台:φ86mm
10、样品台:1rpm-20rpm内可调。
11、直流溅射功率:500W;射频溅射功率:300W。
12、开关盖方式:自动升降上盖。
13、工作气体:Ar等惰性气体。
进气气路:质量流量计进气,1-100SCCM可调。
磁控溅射仪
http://www.sykejing.com.cn/Products-38278160.html
https://www.chem17.com/st5171/product_38278160.html