电容式传感器的亚纳米分辨率

　　电容式传感器可在不接触的情况下以亚纳米分辨率进行测量。它们保证了的运动线性，长期稳定性以及kHz范围内的带宽。

　　自动配置和快速的组件更换

　　机械和控制器可以根据需要进行组合并快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-sub连接器的ID芯片中。每次打开控制器时，数字控制器的自动校准功能都会使用此数据。

　　适用于复杂的真空应用

　　压电系统中使用的所有组件都适合在真空中使用。无需润滑剂或油脂即可运行。不含聚合物的压电系统可实现极低的除气率。

　　PICMA®压电执行器，使用寿命长

　　获得利的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这样可以保护它们免受潮湿和泄漏电流增加引起的故障的影响。PICMA®执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的十倍之多。事实证明，没有单一故障的1000亿次循环。

　　零游隙挠性导轨，导向精度高

　　挠性导板无维护，无摩擦和无磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且冲击和振动不敏感。它们是100%真空兼容的，并且可在较宽的温度范围内工作。

　　平行位置测量，在纳米范围内具有很高的跟踪精度

　　所有的自由度均以单个固定参考为参考。可以实时(取决于带宽)主动补偿(主动引导)轴之间的不良串扰。即使在动态操作中，也可以在纳米范围内实现高跟踪精度。

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