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YM-RL系列罗茨泵机组组成
YM-RL系列罗茨泵机组是多级罗茨式干泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、消音器等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气机组。
用途
冷冻干燥、镀膜、真空钎焊炉、真空烧结炉、单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀、气体回收系统等。
优点
•无油、干燥、清洁。
•在低温领域的均热化。
•大抽速，可以缩短排气时间。
•优良的耐腐蚀性。
•低噪音、低震动。
YM-VD/VS系列罗茨泵机组
组成
YM-VD/VS系列罗茨泵机组是由油旋片真空泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、油雾过滤器等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气。
用途
•蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀、光学镀膜等。
•单晶炉、多晶炉、真空热处理炉、烧结炉、退火炉、淬火炉等。
•真空干燥、冷冻干燥、检漏设备及系统、气体回收系统、液晶注入等。
•冰箱、家用空调、中央空调、节能灯、背光源、自动抽空线、排气设备等。
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