在三坐标平板上使用的三坐标测量仪可测量高精度的几何零件和曲面；测量复杂形状的机械零部件；检测自由曲面；可选用接触式或非接触式测头进行连续扫描。三坐标测量是指在一个六面体的空间范围内，能够测量，几何形状，长度及圆周分度等。

三坐标平板使用说明：可按照工作图的尺寸，进行划线工作；固定量表座，然后使量表指针停在待测物表面上方，移动待测物可检查工件面与平板面的平行度；利用平板作基准面，配合正弦杆及角度规，可进行角度量测；将待测物与测量表座同置于平台上，进行高度比较测量，最后可再将其高度与标准块规相比较。

在铸铁三坐标平板上测量时要注意平台工作面要平整光滑，不可有划痕、碰伤、锈迹及其他影响使用的外观缺陷。三坐标测量仪可定义为“一种具有可作三个方向移动的探测器，可在三个相互垂直的导轨上移动，此探测器以接触或非接触等方式传送讯号，三个轴的位移测量系统（如光学尺）经数据处理器或计算出工件的各点坐标（X、Y、Z）及各项功能测量的仪器。”