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spin coater
2024-01-08 16:52  浏览:4
spin coater匀胶机有很多种称谓,英文叫SpinCoater或者SpinProcessor,又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机,总的来说,他们原理都是一样的,既在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。

匀胶机适用于半导体、硅片、晶片、基片、导电玻璃及制版等表面涂覆工艺,可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。匀胶机可以用于制作低于10nm厚度的薄膜,并且在清洗和刻蚀中也被广泛使用。

由我司提供的匀胶机,在高校、研究所及半导体产业享有很高的声誉,相信能满足您多种不同应用要求。

匀胶机通用参数:

旋转衬底最大尺寸:4”、6”、8”、12”、550mm;

按客户需求提供整体解决方案,可以旋涂最小3mm,最大1000mm衬底;

从手动到全自动溶质分配的选择范围宽大;

无振动转速最高8000rpm;

真空吸附,无污染;

台式匀胶机,占用空间小;

具备耐化学性的无缝聚丙烯外罩,并且匀胶机主机易清洗;

聚四氟乙烯(PTFE)的匀胶机可用于强腐蚀性化学材料;

便于程序操作的全尺寸键盘,甚至带着手套都可以方便使用;

可以准确重复运行程序的数字程序控制系统;

高度灵活的多重可编程步骤组成复合程序。

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