产品优势

　　（1）便捷的收放板方式。

　　（2）真空系统集成，占地面积小。

　　（3）低耗能、耗气产品。

　　（4）水平电极设计，可满足软性产品处理需求。

　　（5）集成的控制系统设计，使操作更方便。

　　（6）合理的等离子反应空间，使处理更均匀。

　　（7）产品放置治具灵活多变，可适应不规则的产品。

　　3、产品结构

　　真空等离子体表面处理系统主要包括三个部分：真空腔及真空系统，等离子体发生器，控制系统。

　　（A）真空腔及真空发生系统

　　真空腔固定于机柜框架内，左右两侧为可拆门，因此内部的真空腔及真空系统的维修是极方便的。真空发生系统由波纹管、KF接头、真空泵以及油雾过滤器组成，核心部件真空泵（真空泵组）。

　　（B）等离子体发生器

　　等离子体发生器在20Pa-100Pa间给电极板施加电压，产生低温等离子体。利用高频转换技术形成高频电压加到电极板上，当真空腔内达到一定真空度时，产生等离子体放电现象，放电后电路会自动调节电压到适当值，保证电路正常稳定放电。

　　（C）控制系统

　　本系统使用MCGS触摸屏、西门子PLC、中文界面。设备的工艺流程控制：真空泵启动->挡板阀开启->达到设定的真空度->通入工艺气体->RF放电->工作时间到破真空->工作完成。设备分自动和手动两种方式。

　　https://www.chem17.com/st308096/erlist_2414425.html

　　http://www.zjplasma.cn/Products-37431992.html