产品概述

　　SPV-100晶圆等离子清洗机(Plasma cleaner)，气体通过激励电源离化成等离子态，等离子体作用于产品表面，清洗产品表面污染物，提高表面活性，增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。

　　2.2产品优势

　　v产品放置治具灵活多变，可适应不规则的产品。

　　v水平电极设计，可满足软性产品处理需求。

　　v低耗能、耗气产品。

　　v便捷的收放板方式。

　　v真空系统集成，占地面积小。

　　v合理的等离子反应空间，使处理更均匀。

　　v集成的控制系统设计，使操作更方便。

　　产品结构

　　真空等离子体表面处理系统主要包括三个部分：真空腔及真空系统，等离子体发生器，控制系统。

　　（A）真空腔及真空发生系统

　　真空腔固定于机柜框架内，左右两侧为可拆门，因此内部的真空腔及真空系统的维修是极方便的。真空发生系统由波纹管、KF接头、真空泵以及油雾过滤器组成，核心部件真空泵（真空泵组）。

　　（B）等离子体发生器

　　等离子体发生器在20Pa-100Pa间给电极板施加电压，产生低温等离子体。利用高频转换技术形成高频电压加到电极板上，当真空腔内达到一定真空度时，产生等离子体放电现象，放电后电路会自动调节电压到适当值，保证电路正常稳定放电。

　　https://www.chem17.com/st308096/erlist_2414425.html

　　http://www.zjplasma.cn/Products-37405000.html